中国哪家的光刻机功能,性能最好?上海微电子装备有限公司的步进式扫描光刻机吧,估计是中国最先进的了 。
SSA600/20 步进扫描投影光刻机采用0.75数值孔径和四倍缩小倍率的ArF投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术,实现可用于前道IC制造90nm关键层和非关键层的先进光刻设备 。此外,该设备通过采用多种可供选择的先进专利照明技术,并配合其他分辨率增强技术,能够满足客户高于90nm分辨率的生产需求 。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产 。
本人亲自用过,号称能有90nm分辨率但是实际使用情况看2um还是能达到的 。6寸、8寸、12寸都能生产,人际界面良好,效率还算可以,跟国外同类型机器相比故障率稍高 。
镭射标牌【电铸都需要哪些设备】我看还是上海复迪科技有限公司的镭射标牌设备好!我买他们机器8年了都没有坏过 。做的产品也非常好,很受用户的欢迎 。不过那机器的名称叫做“多功能高速电子金属雕刻机”,那机器不仅能做镭射标牌,而且还能做堆金标牌、沙金标牌等,不仅如此,该机器还有:金属雕刻机、金属打标机、镀金机、电铸机、电镀机、铜(钢)版画机、金属上色机、电泳机、电刷镀机、堆金机和电抛光机等机器的所有功能 。
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