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但我国企业在刻蚀设备制造方面距离世界头部企业仍有一定的距离 ， 刻蚀设备研发进度仍待加快 。
我国刻蚀设备相关领先企业技术进展情况如下所示：

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以上数据及分析请参考于前瞻产业研究院《中国半导体产业战略规划和企业战略咨询报告》 ， 同时前瞻产业研究院提供产业大数据、产业规划、产业申报、产业园区规划、产业招商引资等解决方案 。

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