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近些年 , 我国在高科技领域实现了快速崛起 , 航天、通信等多方面都跻身到了国际一流水平 , 然而 , 高速发展的姿态深深地触及了西方科技大国的“敏感神经” , 尤其是美国 , 为了巩固其科技霸主的地位 , 便对华为等中企实施了芯片禁令 , 妄图以此来遏制我们的发展 。
由于台积电这样的代工巨头 , 高通、英特尔这样的IC巨头、荷兰ASML这样的光刻巨头 , 都在不同程度上被限制了向我国市场出口 , 因此 , 我们若想突破芯片封锁 , 就只剩下了自主研发这一条路可走 。
在芯片国产化的道路上 , 国家制定了两条腿走路的策略 , 一方面是在传统芯片即将达到物理极限的情况下 , 发力研发新型芯片;另一方面是在传统芯片领域进行追赶 , 从设备、材料、技术等三个层面进行破冰 , 从而摆脱芯片产业对海外的依赖 。
在新型芯片的研发上 , 中科院做出了表率 , 自研的8英寸石墨烯晶圆在国际石墨烯创新大会上 , 得到了海内外媒体以及科学家们的高度认可 。 石墨烯作碳基芯片的原材料 , 其重要性不言而喻 , 而中科院的8英寸石墨烯晶圆不管是尺寸或者性能 , 都属国际顶尖水平 。
正如外媒所说 , 在碳基领域 , 中国已经迈出了坚实的一步 , 至少领先全球五年 。
而近日 , 国内再次传出好消息 , 这次是关于高端光刻机 , 中科院再次立功 。
据媒体报道 , 中科院旗下的上海光学高端机械研究所 , 简称“光机所” , 近期在计算光刻研发上取得了巨大的进展 。
“光机所”提出的OPC修正技术(Optical proximity correction OPC) , 可以在EUV光刻设备硬件不变的情况下 , 优化照明系统与检测功能 , 从而进一步提升光刻设备的分辨率 。
利用这项技术可以生产出比3nm精度更高的芯片 , 从芯片工艺的迭代上来看 , 摩尔定律的延续或将因此在中国实现 。
对于我国在高端光刻领域取得的成果 , 最为之紧张的莫过于荷兰光刻巨头ASML了 , 尽管暂时ASML在老美的出口管制规则下无法出口EUV给我们 , 但它却先后多次示好我国市场 , 这却恰恰反应出了它的担忧 。
我国作为全球最大的半导体消费市场 , 对光刻设备的采购量超过了其他任一个国家 , 如果我们实现了EUV的国产化 , 那么ASML就将失去唯一性 , 更关键的是 , 我们将会自此成为它的最大竞争对手 。
以“中国制造”高质量、低价格的产品特性来看 , ASML面对我们这个竞争对手并没有多大的优势 , 它在光刻市场的地位也必将因此而受到巨大的冲击 。
这也就不难理解 , 在我国决定自研光刻机之时 , ASML为何会泼来冷水表示:即便给中国图纸 , 他们也造不出来 。 事实是 , ASML从未把EUV核心制造图纸交给我们 , 而且它怎么会不知道“再尖端的设备也是人造的而非神造的” , 只不过是想通过这种方式让我们知难而退罢了 。
然而 , 面对老美无底线的封锁 , 我们无暇顾及这些倾向于中国市场的美系企业的利益 , 毕竟是它们无法及时提供给我们所需的半导体设备 。 因此 , 我们在自主研发的同时 , 或将给它们带来的“误伤”完全是老美的问题 。
【asml|中科院再立功,这次是高端光刻机,ASML的担忧或成现实】目前国产芯片产业在中低端领域已站稳了脚跟 , 正在向高端领域发起冲击 , 而且清华大学等高校的科研团队在EUV领域也已取得了不小的研发成果 , 随着时间的推进 , ASML的担忧或将成为现实 。
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