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阿斯麦|阿斯麦新一代极紫外光刻机计划明年年中出货



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据国外媒体报道 , 已经推出了两款极紫外光刻机的阿斯麦 , 正在研发第三款 , 计划在明年年中开始出货 。
阿斯麦|阿斯麦新一代极紫外光刻机计划明年年中出货
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阿斯麦极紫外光刻机
阿斯麦是在三季度的财报中 , 披露他们全新的极紫外光刻机计划在明年年中开始出货的 , 型号为TWINSCAN NXE:3600D 。
在财报中 , 阿斯麦表示他们已经敲定了TWINSCAN NXE:3600D的规格 , 其生产效率将提升18% , 在30mJ/cm2的曝光速度下每小时可处理160片晶圆 。
值得注意的是 , 在2019年的年报中 , 阿斯麦就曾披露他们在研发新一代的极紫外光刻机 , 不过当时并未披露具体的型号 , 他们在年报中披露的计划出货时间是2022年年初 , 2024或者2025年大规模生产 。 三季度财报中披露在明年年中开始出货的TWINSCAN NXE:3600D , 如果是他们在年报中提到的那一款 , 也就意味着出货时间较原计划提前了半年 。
极紫外光刻机是7nm和5nm芯片制程工艺所必不可少的设备 , 目前全球只有阿斯麦能供应 。 台积电、三星这两大芯片代工商的制程工艺都已提升到了7nm和5nm , 他们所需要的极紫外光刻机也全部仰仗于阿斯麦 , 全新的TWINSCAN NXE:3600D的首台 , 预计也会交由这两家代工商中的一家 。
阿斯麦目前在售的两款极紫外光刻机分别是TWINSCAN NXE:3400B和TWINSCAN NXE:3400C , 采用的都是波长为13.5nm的极紫外光源 , 20mJ/cm2的曝光速度下 , 前者每小时可处理125片晶圆 , 后者则可达到170片 。
【阿斯麦|阿斯麦新一代极紫外光刻机计划明年年中出货】【来源:Techweb】【作者:辣椒客】


    稿源:(太平洋电脑网)

    【】网址:http://www.shadafang.com/c/hn101OF1022020.html

    标题:阿斯麦|阿斯麦新一代极紫外光刻机计划明年年中出货


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