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光刻机在芯片制造、芯片先进封装、LED制造、下一代显示屏制造四大方面 ， 都有广泛的应用 ， 是重要的半导体生产设备 。

ASML作为全球领先的光刻机巨头 ， 其光刻机产品受到了英特尔、三星等厂商的争抢 。 而中国厂商也争抢这一行列中 。

1月21日 ， 中国珠海-英诺赛科同ASML达成购买协议 ， 将成批量购买高产能i-line与KrF光刻机 。
得益于双工件台架构 ， 与其他厂商产品相比 ， ASML的i-line与KrF光刻机拥有最高的性能、最高的生产效率 ， 以及低成本 。
在今年第二季度 ， 首批光刻将进入英诺赛科 。 它们将用于制造新进的硅基氮化镓功率器件 。

英诺赛科主营第三代半导体硅基氮化镓的研发与生产 ， 成功打造硅基氮化镓全产业链平台 ， 拥有研发、设计、制造等实力 。
成立短短几年的时间 ， 英诺赛科已经形成了不错的竞争实力 。 如今 ， 英诺赛科已经申请250余项国内外核心专利技术 。

在2015年12月 ， 英诺赛科建设了8英寸硅基氮化镓研发生产基地 ， 并实现了量产 ， 填补了中国8英寸硅基氮化镓材料与器件的空白 ， 迈出了从0到1的重要一步 。
而在2021年3月 ， 苏州项目一期计划正式投产 ， 有望成为全球产能最大的8英寸硅基氮化镓量产线 ， 年产能可达78万片 。
如今 ， 英诺赛科大批采购来ASML的光刻机设备 ， 将进一步提升公司生产效率 ， 增强竞争实力 。

30V-650V硅基氮化镓功率及射频器件是英诺赛科的主要产品 ， 英诺赛科是全球唯一兼具低压与高压硅基氮化镓芯片量产能力的企业 。
英诺赛科的低压30-200V器件用在数据中心、自动驾驶激光雷达等新兴产业中；而高压650V器件则在汽车、工业电机等领域有所发挥 。
【光刻机|国产芯片传来喜讯，中国企业与荷兰ASML达成协议，批量采购光刻机】如今 ， 小米、浪潮、大疆、华为等 ， 都是英诺赛科的合作厂商 。 相信在这些厂商的共同努力下 ， 中国硅基氮化镓产品将进一步实现国产化 。

当前 ， 第三代半导体器件正逐渐成为业界的主流 ， 氮化镓便是其中代表 。 这预示着 ， 英诺赛科未来有着广阔的发展空间 。
目前英诺赛科虽然在氮化镓功率器件市场的渗透率 ， 还不足1% ， 但背靠中国这个全球最大的半导体消费市场 ， 在国产替代化加速的大背景下 ， 英诺赛科的未来值得期待 。
文/BU 审核/子扬 校对/知秋

来源：(数码密探)

【】网址：/a/2021/0125/kd641629.html

标题：光刻机|国产芯片传来喜讯，中国企业与荷兰ASML达成协议，批量采购光刻机