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光刻机是半导体制造过程中 ， 最具技术含量的设备 ， 有着“现代半导体行业皇冠上的明珠”的美誉 。

目前 ， 仅ASML一家便占据全球高端光刻机市场89%的份额 ， 剩余份额则被尼康与佳能所占据 。 在中国 ， 我国光刻机被牢牢卡住了脖子 ， 制约了半导体产业的发展 。

任正非：光刻机“卡脖子”的事你们别管中国光刻机被“卡脖子”的境况令人着急 ， 不过任正非却警醒众人 ， 不要一股脑地涌进来 。
在2020年11月 ， C9（包括北大、清华、复旦、哈工大等9大高校的中国首个顶尖大学高校联盟）高校校长去华为参观拜访时 ， 任正非称 ， 大学不要管当前的“卡脖子” ， 大学的责任是“捅破天” 。

【光刻机|任正非的判断没有错，国产光刻机双喜临门，沉睡的雄狮已觉醒】任正非表示 ， 目前“卡脖子”问题大多为工程科学、应用科学方面的问题 ， 查阅一些国外论文便能够做出来 ， 卡不住我们的脖子 。
因而 ， 任正非认为 ， 大学应该着眼于未来二三十年国家与产业发展的需要 ， 而不是眼前两三年的问题 。 否则眼前问题解决后 ， 又会有新问题出现 。

任正非的一番话十分有远见 ， 事实也正在证明 ， 任正非的判断没有错 ， 光刻机卡不住中国的脖子 。
国产光刻机双喜临门近来 ， 中国光刻机连续迎来两大好消息 。
大族激光传来喜讯
大族激光是全球第三、亚洲最大的工业激光加工设备生产厂商 ， 拥有200多种工业激光设备与智能装备解决方案 ， 是中国激光设备最全的企业 。
从2019年开始 ， 大族激光便开始布局光刻机 。 镜头、激光光源是光刻机两大核心部件 ， 因此 ， 大族激光攻克光刻机技术 ， 有一定的基础 。

1月14日 ， 大族激光在互动平台上透露 ， 公司研发的光刻机项目分辨率为3-5μm ， 已经实现小批量销售 。
不过 ， 大族激光的光刻机产品并不是用于集成电路制造 ， 而是分立器件、LCD等领域 ， 是较为低端的光刻机设备 。

虽然如此 ， 大族激光自研光刻机还是有着 ， 推动了光刻机国产替代的进程的重要意义 。
芯源微：国产前道涂胶显影机诞生芯源微背靠中科院沈阳自动化研究所 ， 从事半导体生产设备的研发、生产、销售与服务 。 目前 ， 青岛芯恩、台积电、长江存储等 ， 都是芯源微的客户 。
芯源微的光刻工序涂胶显影设备 ， 成功打破了海外的垄断 。 目前 ， 在集成电路前道晶圆加工环节 ， 国产化设备正逐步实现小批量替代 。

近来 ， 芯源微更是披露 ， 公司前道涂胶显影机与国际光刻机联机的技术问题已经攻克并通过验证 ， 可以与包括ASML、佳能等国际品牌 ， 以及国内的上海微电子的光刻机联机应用 。
这标志着 ， 国产替代化进程又前进了一步 。
沉睡的雄狮已经觉醒以上种种都印证了 ， 中国光刻机并非没有打破垄断的希望 。

如今 ， 国产替代化已经成为一种大趋势 ， 中国半导体产业正在加速发展 ， 在芯片设计、半导体材料等领域 ， 我国不断传来新的突破 。 国产芯片实现自主化 ， 未来可期 ， 沉睡的雄狮已经觉醒 。
在最难攻克的光刻机领域 ， 中科院已经公开表态 ， 将集结全院的力量 ， 攻克光刻机等“卡脖子”难题 。



同时 ， 上海微电子、华卓精科等光刻机相关企业 ， 也早已默默努力 。 华为精科已经成为全球第二个 ， 也是唯二掌握高端光刻机双工件台的企业 。
相信在多方共同努力之下 ， 中国半导体产业将实现自主可控 ， 不用再依赖进口 。
文/BU 审核/子扬 校正/知秋

来源：(数码密探)

【】网址：/a/2021/0128/kd651478.html

标题：光刻机|任正非的判断没有错，国产光刻机双喜临门，沉睡的雄狮已觉醒