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观察者网3月4日消息 ， 中芯国际发布公告称 ， 公司此前与荷兰半导体设备供应商阿斯麦尔（ASML）签订了一份价值约12亿美元（约合人民币77亿元）的购买协议 ， 据经修订和重述的批量采购协议 ， 两家公司已于2月1日重新签订协议 ， 将期限延长至2021年12月31日 。
据消息报道 ， 在有关延长期限的公告中 ， 中芯国际只简单将产品描述为一种“生产晶圆的产品” ， 但随后ASML在官网发布公告称 ， 中芯国际采购的是深紫外线光刻机（DUV光刻机） 。

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无需美国许可？ASML：对华DUV光刻机出口不受限！
需要知道的是 ， 被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”的光刻机 ， 是整个芯片生产制造环节最核心的设备 ， 但在全球范围内 ， 单是日本的尼康、佳能和荷兰的ASML三家企业 ， 便占据了光刻机市场90%以上的份额 ， 其中最高级的极紫外线光刻机（EUV）更是只有ASML一家有 ， 这便造成一个不争的事实——光刻机成为了我国实现芯片国产化的关键制约因素 。
据悉 ， 早在2018年初 ， 中芯国际便向ASML订购了一台价值1.2亿美元的EUV光刻机 ， 按照订购协议 ， ASML本应2019年完成交付、2020年完成安装 ， 但由于种种因素影响 ， 这台EUV光刻机至今仍处于“未出库”状态 。

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幸运的是 ， 虽然EUV光刻机未能交付 ， 但据阿斯麦全球副总裁兼中国区总裁沈波表示 ， 公司对向中国出口集成电路光刻机始终持开放态度；ASML CFO Roger Dassen也曾表示 ， 在某些情况下 ， 对华出口光刻机是不需要许可证的 ， 例如DUV光刻机 。 据悉 ， 此次中芯国际采购的DUV光刻机已可用于生产7nm及以上制程芯片 。
市场分析还指出 ， 鉴于中国市场已成为ASML重要的收入来源 ， 未来其也将努力争取向中芯国际出售EUV光刻机 。 据ASML发布的财报 ， 2020全年 ， 公司在中国的销售占比同比增加6%至18%；截至目前 ， 中企已买下超过700台光刻机 。

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100%绕开美国！中企28nm光刻机有望交付
虽然DUV光刻机购买不受限 ， 7nm及以上制程的芯片制造有了保障 ， 但若想“更进一步” ， 仍需EUV光刻机 。 面对美国的阻拦 ， 我国是否有突围方法？
首先是“自力更生” 。 早在2008年 ， “国家队”便开始攻关光刻机 ， 还为此专门成立了“极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”（简称02专项） 。 经过多年努力 ， 02专项也已在部分技术领域取得了丰硕成果 ， 例如2017年由中国科学院旗下研究机构——长春光机所牵头研发的“极紫外光刻关键技术”通过验收；2018年 ， 由中科院研制的“超分辨光刻装备”通过验收 。

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“国家队”交出了亮眼成绩单 ， 企业也不落后 。 例如我国知名半导体设备制造商——上海微电子设备公司（SMEE）此前也宣布 ， 公司采用国产以及日本零部件研发的28nm第二代深紫外（DUV）光刻机有望在2021年4季度实现交付 。 据了解 ， 这台光刻机的生产及研发 ， 100%绕开了美国的技术及设备 。
除了“自立更生”外 ， 寻求合作也是一条出路 。 据媒体报道 ， 2020年10月 ， 不少中资企业便计划向曾经的光刻机龙头企业——尼康、佳能两家日企共同出资 ， 联手推进除EUV光刻机以外的新型光刻机的研发 。 总的来说 ， 国产光刻机已加速崛起中 。
【阿斯麦|无需美国许可，中芯国际向ASML发77亿大单！EUV光刻机仍被卡脖子】文 | 李银苏题 | 徐晓冰图| 饶建宁 卢文祥审 | 刘苏林

来源：(金十数据)

【】网址：/a/2021/0306/kd770489.html

标题：阿斯麦|无需美国许可，中芯国际向ASML发77亿大单！EUV光刻机仍被卡脖子