1、四探针方法测量不规则半导体四探针方法测量不规则半导体 的电阻率的电阻率 一一实验目的实验目的 二二实验原理实验原理 三三实验步骤实验步骤 四四注意事项注意事项 五五心得体会心得体会 实验目的实验目的 1、测量不规则半导体电阻率 2、验证四探针法修正公式 理想情况下 ， 四根探针位 于样品中央 ， 电流从探针 1流入 ， 从探针4流出 ， 则 可将1和4探针认为是点电 流源 。
2、3探针的电位差 为： 半无穷大样品点电流源 的半球等位面 实验原理实验原理 由此可得出样品的电阻率为： 簿片电阻率测量 簿片样品因为其厚度与探针间距比较 ，不能忽略 ， 测量时要提供样品的厚度形 状和测量位置的修正系数 。
下面考虑一般情况下 。

2、的修正： )( 2ln2 1 0 S d D S W 当圆形硅片的厚度满足W/S0.5时 ， 电阻率为： 这就是我们实验时用到的公式 下面通过实验数据验证该修正公式的正确性： 实验步骤实验步骤 1、测试准备：电源开关置于断开位置 ， 工作 选择置于“短路” ， 电流开关处于弹出切断 位置 。
将测试样品放在样品架上 ， 调节高度 手轮 ， 使探针能与其表面保持良好接触 。
2、打开电源并预热小时 。
3、极性开关置于上方 ， 工作状态选择开关置 于“短路” ， 拨动电流和电压量程开关 ， 置 于样品测量所合适的电流、电压量程范围 。
调节电压表的粗调细调调零 ， 使显示为零 。
显示板 2、单位显示灯 3、电流量程开关 4、工作 选择开关（ 。

3、短路、测量、调节、自校选择）5、电 压量程开关6、输入插座7、调零细调8、调零粗调9、 电流调节10、电源开关11、电流选择开关 12、极性 开关 6、工作状态选择开关置于“测量” ， 按下电流开关 输出恒定电流 ， 即可由数字显示板和单位显示灯 直接读出测量值 。
再将极性开关拨至下方（负极 性） ， 按下电流开 ， 读出测量值 ， 将两次测量值 取平均 ， 即为样品在该处的电阻率值 。
关如果 “”极性发出闪烁信号 ， 则测量数值已超过此电 压量程 ， 应将电压量程开关拨到更高档 ， 读数后 退出电流开关 ， 数字显示恢复到零位. 实验数据 通过修正公式修正后 ， 得到： 与实验预期结果相吻合 ， 因 此该验证公式较为理想 。
注意事项注意事项。

【探针|四探针方法测电阻率PPT优秀课件】4、1、电流量程开关与电压量程开关必须放在 下表所列的任一组对应的量程 电压 量程 2V200m V 20mV 2mV0.2m V 电流 量程 100m A 10mA 1mA100 A 10A 2、 电阻（V/I）测量 ， 用四端测量夹换下回探 针测试架 ， 按下图接好样品 ， 选择合适的电压 电流量程 ， 电流值调到10.00数值 ， 读出数值为 实际测量的电阻值 。
3、方块电阻测量 ， 电流调节在4.53时 ， 读出数值 10倍为实际的方块电阻值 。
4、薄片电阻率测量：当薄片厚度0.5mm时 ， 按 公式（3）进行；当薄片厚度0.5mm时 ， 按 公式（4）进行 。
5、仪器在中断测量时应将工作选择开 关置于“短路”；电流开关置于弹出 断开位置 。
心得体会心得体会 一、通过对四探针法的研究 ， 我们探索到了测 电阻率时需要的修正函数（厚度修正函数以及 形状和测量位置的修正函数） 。
二、体会了研究性实验的探索过程 ， 感悟了科 学研究历程的愉悦 。
三、推广了四探针法的测量范围 ， 可以对不规 则硅晶片进行测量计算 。
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标题：探针|四探针方法测电阻率PPT优秀课件