探针台的探针台简介 探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动
从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（超低温探针台），RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台 根据客户需求定制
chuck尺寸：4*4 6*6 8*812*12 (可选）
X-Y移动行程：4*4 6*6 8*812*12(可选）
chuck Z轴方向升降10mm（选项）方便探针与样品快速分离
显微镜：金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜（可选）
显微镜移动方式：立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型（可选）
探针座：有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关
可搭配Probe card测试
适用领域：晶圆厂、研究所、高校等 chuck尺寸800mm/600mm
X,Y电动移动行程200mm/150mm
chuck粗调升降9mm，微调升降16mm
可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数6～8颗
显微镜X-Y-Z移动范围2x2x2
可搭配Probe card测试
适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品 chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金）
X,Y电动移动行程300mm x 300mm
chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u
可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜
针座摆放个数8～12颗
显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“
材质：花岗岩台面+不锈钢
可搭配Probe card测试
适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品 机械手臂取放片
电动、键入坐标寻位置
量测尺寸（mm）：1800