cmos集成工艺为什么能将陷阱注入放到sti工艺之后

CMOS 集成电路的基础工艺之一就是双阱工艺,它包括两个区域 , 即n-MOS和p-MOS 有源区 , 分别对应p阱和N阱 , 在进行阱注入时 , 产业内的主流技术多数采用倒掺杂技术来调节晶体管的电学特性,即首先采用高能量、大剂量的离子注入,注入的深度约为 1um,注入区域与阱相同,随后通过大幅降低注入能量及剂量,控制注入深度和掺杂剖面 。阱的注入掺杂不仅可以调节晶体管的阈值电压,也可以解决CMOS 电路常见的一些问题,如闩锁效应和其他可靠性问题 。
集成电路制造工艺的目录线路板 制作方法
原料板——按照预定尺寸切割电路板——按照准备好的电路图用自动钻孔机钻孔——用抛光机抛光——预浸(3分钟)——水洗—用使油墨固化机75℃烘干——活化(5分钟)——通孔(通孔后的检查通孔效果)——固化机120℃烘干——用抛光机抛光——微蚀——水洗——加速水洗——用镀铜机镀铜25~30分钟(有效镀铜面积下镀铜电流:3A/0.01㎡)——抛光机抛光——75℃烘干——线路油墨丝?。ㄊ褂?0T丝网丝?。???5℃烘干——用曝光机曝光9秒(抽气,开灯,曝光)——显影机显影(在46℃下显影10秒左右)——水洗——烘干——微蚀——水洗——烘干——用镀锡机镀锡25~30分钟(有效镀锡面积下镀锡电流:1.5A/0.01㎡)——油墨脱膜(3~4分钟)——水洗——75℃烘干——用腐蚀机腐蚀(在56℃左右下腐蚀45秒左右)——水洗——抛光——烘干——刷阻焊油墨(1:3调配油墨,使用100T丝网印刷)——75℃烘干——曝光90秒——显影(10秒左右)——水洗——75℃烘干——刷字符油墨(1:3调配油墨,使用120T丝网印刷)——75℃烘干——曝光120秒——显影(10秒左右)——水洗——150℃固化烘干(10~15分钟)
总的来说你只要做好电路就可以了其他的都是代工厂家做的事情
【cmos集成工艺为什么能将陷阱注入放到sti工艺之后】
集成电路其实一句话说到底就是在多晶硅材料商 硅是半导体添加五价或者三价元素形成PN结
在硅片上形成无数个PN结就可以了详细看电子技术基础
电子元器件的制作其实要看哪种了,比如三极管或者二极管再者可控硅等其实还是利用了PN结
电阻有很多种 , 有的是金属膜电阻有的是线绕电阻每个的工艺都不一样
电容也分很多种的,常见的有电解电容和涤纶电容和纸介电容等
第1章 概述
第2章 半导体材料
第3章 硅平面工艺流程
第4章 薄膜的制备
第5章 光刻技术
第6章 掺杂技术
第7章 金属化与平坦化
第8章 芯片封装与装配技术
附录A 术语表
参考文献