光刻机|比光刻机还难的大国重器，全球排队向日本求购，我国终于打破垄断 OLED

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众所周知，制造芯片最大的困难是光刻机工艺水平。在此之前，光刻机领域一直是ASML一家独大，特别是浸没式光刻，只有ASML和尼康掌握了这项技术，即便是后续有其他企业加入竞争，也非常难。
但是很多人不知道的是， OLED面板领域也同样面临着诸如此类的困境。中国作为面板需求大国，一直以来都依赖日韩进口。真空蒸镀机是制造OLED的关键器件，是OLED屏生产过程中难度最高的环节之一。
中国虽然在这几年掌握了面板制造技术，但是在新一代的OLED面板上还和韩国三星有一定的差距，其中之一的原因就是中国无法获取到足够的高端真空蒸镀机。
全球高端的真空蒸镀机掌握在佳能特机株式会社手中——一个只有300多名员工的“小公司” ，其制造出的设备一台能卖到1.14亿美元，相当于人民币7.6亿，而且一年目前只能生产7台，向三星等大企业供货。
业内人表示，佳能特机株式会社最厉害的在于有机发光材料蒸镀过程，其细节误差控制在5微米内，这相当于一根头发直径的5% ，目前没有公司能达到这个精度。因此，这么一个“小公司”仍主宰着整个OLED产业链的发展。
近年来，中国在真空蒸镀机的研发上，花了很多心思。终于功夫不负有心人，我国合肥欣奕华智能机器有限公司，成功开发首台硅基OLED蒸镀机，这对我国来说是一个非常大的突破，标志着我国泛半导体产业核心工艺装备实现自主化。
【光刻机|比光刻机还难的大国重器，全球排队向日本求购，我国终于打破垄断】该公司通过借鉴日本公司蒸镀机的相关设计，对蒸镀机的核心技术——蒸发源设计和对位技术进行二次创新和改进。要知道这两个技术是蒸镀机的核心技术。之后又通过科研技术上的不断努力，进一步攻克了硅基OLED蒸镀机膜厚等一系列技术难题，而且，在设备匹配上，还能与AR、VR实现完美契合。
之所以能取得这样的突破，是因为中国吸取了光刻机被卡脖子的教训，提前布局。通过OLED面板生产链上下游通力合作，众多相关专家进行深度研究，终于打破国外高端蒸镀机的垄断。
现如今，合肥欣奕华智能机器有限公司已经实现了OLED对位系统和蒸发源、真空腔室、工艺控制这四项核心技术的自主研发权，其技术已经达到世界领先的位置，推动了中国蒸镀机产业的进步。