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思达科技推出晶圆级光学器件老化测试系统



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思达科技推出晶圆级光学器件老化测试系统文章插图
半导体测试领导厂商思达科技 , 今天宣布推出晶圆级光学器件测试解决方案——思达阿波罗Apollo WLBI 。 这款新系统是通过包括传统的电子量测 , 加上光学监控的高度平行量测能力和替换测试时间 , 满足5G光学器件的晶圆级老化测试需求 。
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思达阿波罗Apollo WLBI 全方位测试解决方案
【思达科技推出晶圆级光学器件老化测试系统】思达阿波罗Apollo WLBI是先进集成的全方位测试解决方案 , 整套设备包含订制的模块化Apollo WLBI Per-pin SMU测试系统、Magic A200e探针台和垂直探针卡 。 Apollo WLBI可以从测试通道数量、电压、电流位准、静态或动态设定等等进行配置 。 由于每个Per-pin SMU有超过6000个通道 , 电压和电流范围不同 , 此系统可对每个通道进行寻源和监控 , 以确定被测器件随时间推移是通过或是失败 。
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思达阿波罗Apollo WLBI Per-pin SMUs测试系统
同时 , 探针台设计了热夹头 , 在平行器件老化循环可以具有高功率和800W的散热能力 , 使得器件在老化过程中 , 能够保持在工作温度的条件 。 探针台还包括了一个高温和机械稳定性的探针卡转接器(>6000 pins) , 专利的真空密封界面 , 用在和测针卡进行恒定的电子和光学接触 。 高负载Z轴移台可在夹头上施加超过400公斤的探测力 , 且平面性变化小于10um , 进而确保老化循环中良好的探测接触 。
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高针数探针卡界面
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800W高耗散热夹头
思达科技执行长刘俊良博士說 , ”思达阿波罗Apollo WLBI是先进的集成测试解决方案 , 支持行业客户在5G光学器件的测试需求 。 用户也可以通过射手座Sagittarius系列的测试平台 , 以较低的成本来管理整个测试程序 。 ”
今天是《半导体行业观察》为您分享的第2496期内容 , 欢迎关注 。
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    稿源:(未知)

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    标题:思达科技推出晶圆级光学器件老化测试系统


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