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光刻机|我国只能生产90纳米的光刻机,是哪个环节遇到了瓶颈?( 二 )



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再比如光刻机的双工作台 , 技术难度也是非常高的 , 这里所谓的双工作台指的是测量台和曝光台 , 两个工作台相互独立 , 同时运行 , 但必须保持高度协同 , 两个工作台由静到动 , 速度非常快 , 但他们两者的误差要求必须在两纳米以上 。
这难度到底有多大呢?举个简单的例子 , 就相当于两架飞机 , 从起飞到降落始终要保持齐头并进 , 然后从一架飞机当中伸出一把刀在另一架飞机上刻字 , 而且刻出的字必须达到要求 。
再比如为了保持光刻机之内温度和湿度的稳定性 , 光刻机内部的温度变化必须控制在5‰以内 。
总之 , 光刻机每一个零部件技术难度都非常大 , 光一个技术都足够大家研究几十年 。
当然除了一些核心零部件的技术瓶颈之外 , 即便把所有的零部件放在你面前 , 你也未必能够真正造出高端的光刻机 , 因为这里面需要几万个设备协同 , 任何一个设备出现误差 , 都有可能导致整个系统不达标 。
【光刻机|我国只能生产90纳米的光刻机,是哪个环节遇到了瓶颈?】由此可见 , 光刻机制造难度到底有多大 , 正因为如此 , 所以我国在光刻机研发方面才迟迟没有太大的突破 。


稿源:(天蝎金融)

【】网址:http://www.shadafang.com/c/hn091Y315632020.html

标题:光刻机|我国只能生产90纳米的光刻机,是哪个环节遇到了瓶颈?( 二 )


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