北方华创微电子获合肥视涯显示科技Micro-OLED设备订单 2018年3月

2018年3月，北方华创微电子12英寸刻蚀机、PVD及立式退火炉获得合肥视涯显示科技有限公司的批量采购订单，标志着北方华创微电子半导体设备技术成功延伸应用于硅基OLED（Micro-OLED）这一新型显示领域。

视涯显示是一家从事硅基微型显示技术开发和生产的公司。公司致力于开发全球领先的微型显示器件——Micro-OLED显示技术，并计划在合肥建设12英寸晶圆厂，生产Micro-OLED显示器件，成为全球最大的Micro-OLED显示器件生产基地。

Micro-OLED是以单晶硅为有源驱动背板制作的OLED显示器件，区别于常规的利用非晶硅、微晶硅或者低温多晶硅薄膜晶体管（LPTS）为背板的AMOLED器件，其像素为传统显示器件的1/10，具有高分辨率、高集成度、低功耗、体积小、重量轻等优势。随着VR/AR的广泛应用，Micro-OLED等新型显示技术得以快速发展。据高盛预测，到2025年，VR和AR的软硬件年销售额将达到800亿美元。

Micro-OLED是半导体技术与OLED显示技术完美结合的产物，可利用半导体制造工艺来实现。北方华创微电子利用半导体设备技术基础，已经成功的将金属刻蚀、介质刻蚀、金属溅射、氧化物溅射、中低温退火等工艺设备应用于Micro-OLED显示领域，相关设备可兼容多种衬底，具备灵活的工艺整合能力，满足新型显示领域客户多种制造工艺的要求。

北京北方华创微电子装备有限公司（简称“北方华创微电子”）的主营业务是由原七星电子的半导体装备相关业务与原北方微电子的全部业务整合而成。

七星电子成立于

2001

年

月，

2010

年

月在深圳证券交易所上市，是国内唯一集成电路装备上市公司，也是国家

科技重大科技专项的主要承担单位之一，清洗机、氧化炉、

LPCVD

（低气压化学气相沉积）、

ALD

（原子层沉积）和气体质量流量控制器（

MFC

）等多个项目获得了政府科研项目资助。目前，多种高端集成电路关键设备批量进入大生产线，取得了良好的使用效果。同时，七星电子作为国内电力电子芯片装备、光伏电池装备、平板显示装备的主要供应商，与国内外行业龙头客户形成了长期友好的合作关系。

北方微电子成立于

2001

年

月，是由北京电控集团联合七星集团、清华大学、北京大学、中科院微电子所和中科院光电技术研究所共同出资，由国内半导体高端管理技术人才和海外专家为核心团队创建的专注于高端集成电路装备业务的高技术公司。公司以生产销售高端集成电路装备为主业，重点发展刻蚀设备（

Etch

）、物理气相沉积设备（

PVD

）和化学气相沉积设备（

CVD

）三大类设备，广泛应用于集成电路制造、先进封装、半导体照明

(LED)

、微机电系统（

MEMS

）等领域。北方微电子自成立以来先后得到了国家科技部“十五”

863

集成电路制造装备重大项目及国家

科技重大专项的研发与产业化项目的科研资助。通过十余年的努力耕耘，已经发展成为中国大陆具有极强竞争力的高端微电子工艺装备制造企业，具有深厚的市场基础和良好的客户口碑。

重组后的北方华创微电子拥有中组部千人计划专家

人。产品涵盖：等离子刻蚀（

Etch

）、物理气相沉积（

PVD

）、化学气相沉积（

CVD

）、氧化

扩散、清洗、退火等半导体工艺装备；平板显示制造装备和气体质量流量控制器等核心零部件。涉及集成电路、先进封装、

LED

、

MEMS

、电力电子、平板显示、光伏电池等半导体相关领域，产品行销全国各地及东南亚、欧美，是国内覆盖领域最广、产品种类最多、建设规模最大、综合实力最强的半导体装备旗舰平台。

在集成电路领域，由公司自主研发的

14nm

等离子硅刻蚀机、单片退火系统、

LPCVD

已成功进入集成电路主流代工厂；

28nm Hardmask PVD

、

Al-Pad PVD

设备已率先进入国际供应链体系；

英寸清洗机累计流片量已突破

万片大关；深硅刻蚀设备也于去年一举告捷东南亚市场。这些丰硕的市场成果，标志着中国装备企业已经实现了集成电路装备制造技术的里程碑式跨越。

在先进封装领域，北方华创微电子开发的刻蚀机和

PVD

设备已在全球主要先进封装企业中得到了广泛应用。公司的先进封装

PVD

机台性能优异，在全球排名前三的

CIS

封装企业中稳居鳌头；所开发的

TSV

刻蚀设备在大陆地区最近几年的新增市场中亦实现了较高的市场占有率；同时应用于

Bumping

制程的

Descum

设备于

2016

年一经推出便收获了市场的积极关注……北方华创将始终紧跟市场需求，不断提供能够精准符合客户需求的卓越产品与优质服务。

在

LED

领域，

ELEDE

系列刻蚀机自

2010

年面市以来销售量已经超过两百余台，其中氮化镓刻蚀机在

2014

～

2016

连续三年新增市场占有率达到

80%

以上，出货量全球第一；

PSS

刻蚀机一直是全球主流

PSS

厂家的首选机台，目前为止国内规模最大的中图半导体公司已累计采购该机型近百台，对市场起到了有力的表率作用；自主开发的

AlN

缓冲层溅射设备，更是引领了全球

LED

行业技术发展趋势，在

2016

年实现

AlN Sputter

的全球市场占有率第一，不仅在市场上取得了巨大成功，更是在技术上一举打破了多年来本土设备商只能处于追随状态的坚冰局面！而同样面向

LED

芯片制造的

EPEE550

系列

PECVD

自推向市场以来，一直保持着新增市场占有率

80%

以上的市场业绩，稳居市场首席。

面向目前高速增长的

MEMS

及新兴市场，北方华创微电子的深硅刻蚀设备，已批量销往多家科研机构及生产线，服务于微纳制造、光通信、化合物半导体、功率器件等多个新兴领域，客户安装量超过百台以上；应用于薄膜

厚膜硅外延的

APCVD

系统在

2016

年更是一举获得了硅外延市场头筹，斩获了客户大批采购订单。

在光伏制造领域，公司研发了国内首台应用于高效光伏电池生产的负压扩散炉，打破了国际技术垄断，获得了市场认可，目前已稳稳拔得市场头筹；研发的晶硅电池线的大部分关键生产设备如在线湿法刻蚀机、槽式单晶制绒机、卧式扩散炉、

PECVD

等设备均已实现了进口替代。

在平板显示领域，北方华创微电子公司是国内

TFT-LCD

生产线的骨干设备供应商，多种产品在客户

至

G10.5

各个世代

TFT-LCD

生产线及

OLED

生产线上批量应用；

CELL

段的

ODF

工艺紫外固化炉

UV Cure

以及

Cutting

工艺的

Grind Cleaner

等设备均在各世代生产线占据重要份额。

此外，北方华创微电子公司在气体流量测量和控制方面亦拥有多项关键技术优势，气体质量流量控制器（

MFC

）产品行销欧美，在国内市场中始终占第一品牌的行业地位。

在为半导体领域客户打造的产品蓝图中，新技术、新产品、新工艺代代更迭、生生不息。正如“北方华创”品牌的英文名称——“

NAURA

”所寓意的，“北方华创”的明星产品如浩瀚星辰般在半导体宇宙中璀璨闪耀。

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