光刻机|一文看懂光刻机
【光刻机|一文看懂光刻机】
_本文原题：一文看懂光刻机
来源：内容来自「ASML阿斯麦光刻」 ， 谢谢 。
随着芯片制造工艺的持续微缩 ， 光刻机在过去几十年里也有了跨越性的发展 。 现在正在被台积电等先进工厂采用的EUV光刻记 ， 更是成为了大家关照的焦点 。 究竟光刻机是怎么工作的？我们来看一下ASML的科普 。 而要了解其原理 ， 首先从了解其外面的保护壳开始 。
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视频来源：Cymer官方网站
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