光刻机唯一上市公司叫什么名字上海微电子股票代码是多少 _知识分享

上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。

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公司发展历史进程：
2002.03
上海微电子装备有限公司在张江高科技园区正式成立。
2006.04
光刻机产品注册商标获得国家工商局批准。
2008.11
十五光刻机重大科技专项通过了国家科技部组织的验收。
2009.12
首台先进封装光刻机产品SSB500/10A交付用户。
2012.05
我司产品SSB500系列先进封装光刻机首次实现海外销售。
2013.08
国产首台用于2.5代AM-OLED TFT电路制造的SSB225/10成功交付用户。该产品被国家科技部评为“2014年度国家重点新产品” 。
2016.06
我司首台暨国内首台前道扫描光刻机交付用户。
2017.01
公司完成股改，正式更名为上海微电子装备（集团）股份有限公司。
2017.10
公司承担的02重大科技专项“90nm光刻机样机研制”任务通过了02专项实施管理办公室组织的专家组现场测试。
2019.12
我司获批国家海关总署AEO高级认证。我司SSB300系列光刻机入选制造业单项冠军产品。
IC领域光刻机系列介绍：
600系列光刻机 —— IC前道制造

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SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。

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500系列光刻机 —— IC后道先进封装

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SSB500系列步进投影光刻机主要应用于200mm/300mm集成电路先进封装领域，包括Flip Chip、Fan-In WLP、Fan-Out WLP和2.5D/3D等先进封装形式，可满足Bumping、RDL和TSV等制程的晶圆级光刻工艺需求。
产品特征
● 出色的污染防护
● 工艺适应性强
● 高精度
● 高产率

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晶圆缺陷自动检测设备 —— IC先进封装工艺中晶圆图形缺陷检测

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【光刻机唯一上市公司叫什么名字上海微电子股票代码是多少】AOI晶圆自动光学检测设备可以自动扫描晶圆的表面图形，自动识别其中的缺陷并且将找到的缺陷加以分类。它可以极大程度地提高晶圆制造过程中的工艺控制能力。该类设备正在被前道芯片制造、先进芯片封装等集成电路制造商越来越广泛地采用。其中，SOI500系列产品用于先进封装工艺高性能的全自动光学检测，SOI600系列产品用于前道IC制造产线的ADI/AEI等检查。
产品特征
● 丰富的成像照明系统
● 超大扫描视场
● 智能检测
● 低成本
● 支持多种工况
● 出色的残胶检测功能
● 离线软件

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半导体产线搬运机器人 —— 智能片盒运输/搬运

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APR500片盒搬运机器人，可自动搬运两个12寸FOUP（兼容8寸片盒），实现端到端全自动搬运。ATR500物料运输机器人，可兼容多种半导体工厂物料，在工厂不同区域进行运输。机器人配置了多重安全保障功能，尤其适用于人机协作环境；多项创新技术有效提升机器人使用效率；可根据客制化需求，为用户提供工厂搬运整体解决方案。
产品特征
● 安全智能
● 适用于多种工况
● 兼容性好
● 友好的人机交互界面
● 整体解决方案

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晶圆对准/键合设备 —— IC后道制造

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