辛德蕾拉|原来曾经拥有,光刻机—华为唯一大陆之外的制约

文|王耀华
美国对华为的技术封杀卡不死华为 , 高通的芯片 , Android的系统,甚至最底层的ARM的构架 , 华为都有备胎 , 或者有所准备 。 然而还是非常庆幸台积电愿意继续供货 , 这样最新一代麒麟985系列的芯片就不会出问题 。 这是华为唯一一项在大陆没办法解决的问题 , 所以确实是非常庆幸 。
光刻机和航空发动机分别代表了人类科技发展的顶级水平 , 都是公认的工业皇冠上夺目的明珠 。 所谓光刻机 , 原理实际上跟照相机差不多 , 不过它的底片是涂满光敏胶(也叫光刻胶)的硅片 。 各种电路图案经激光缩微投影曝光到光刻胶上 , 光刻胶的曝光部分与硅片进行反应 , 将其永久的刻在硅片上 , 这是芯片生产的最关键步骤 。 由于光刻机在芯片最后的封装 , 以及平板显示器件生产都可以用到 , 所以这里的光刻机一般特指芯片生产的前道光刻机 。
目前世界上最先进的光刻机是荷兰的ASML , 这是菲利普分离出来的一个公司 , 在这个行业一家独大 。 这个设备配上台积电的工艺 , 能够做出7纳米级别的芯片 。 中芯国际以1.2亿美元向ASML订购了一台紫外光刻设备 , 贵不是重点 , 重点是他们的设备很长时间对中国是禁运的 , 这是第一次买到 。 计划是2019年卖给中芯国际最后一代的光刻机 , 但ASML工厂去年年底失火了 , 导致交货延迟 , 所以这个设备现在还没到手 。 收到之后还需要一定的时间熟悉工艺 , 才能实现7纳米的量产 。 失火这个事刚好和华人科学家张首晟自杀 , 孟晚舟被绑票同时发生 , 引发了很多猜测 , 这里不多说了 。
【辛德蕾拉|原来曾经拥有,光刻机—华为唯一大陆之外的制约】再次拾起光刻机的研发是大约二十年后的2002年 , 有人意识到了核心技术是买不来的之后 。 目前中国在这个领域最先进的自主研发科技包括:2007年上海微电子研制出了我国首台90纳米高端投影光刻机 , 成为世界上第四家掌握高端光刻机技术的公司 。 去年底国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收 。 它由中国科学院光电技术研究所研制 , 光刻分辨力达到22纳米 , 结合双重曝光技术后 , 未来还可用于制造10纳米级别的芯片 , 当然未来有多远 , 还不知道 。