中船重工：努力打造世界重要的电子特种气体供应商电子特种气体被称作电子工业的“血液”

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新华社北京３月１３日电（记者张泉、刘诗平）电子特种气体被称作电子工业的“血液”。中船重工７１８所副所长郭建增告诉记者，７１８所将努力打造世界重要的电子特种气体供应商，为我国集成电路产业发展提供坚实支撑。

电子特种气体是三氟化氮、六氟化钨等一系列特种气体材料的总称，是大规模集成电路、液晶面板行业生产的关键材料。然而，电子特种气体过去长期被国外企业垄断，严重影响我国半导体产业的发展与产业链完善，影响我国集成电路、半导体相关产品的国际竞争力。

郭建增介绍，７１８所在国家重大专项的支持下，经过多年军民融合、持续技术创新，相继研制出高纯三氟化氮、六氟化钨等系列特种气体产品，打破国外企业十几年的垄断，结束了该领域相关产品的高价时代，主要产品三氟化氮市场价格大幅下降，改变了我国高纯特种气体长期依赖进口的不利局面。

目前，７１８所三氟化氮、六氟化钨生产规模均位居国内第一，三氟化氮、六氟化钨的国内市场覆盖率超过９５％，国际市场覆盖率达５０％；其他７种气体及１０种混合气体已研制成功并具备批产条件，得到了国内半导体龙头企业的测试认证。

据介绍，７１８所将加快三氟化氮、六氟化钨等主要气体产能建设，加大国际国内两个市场开拓力度，加快拓展半导体行业大宗气体现场制气业务，力争在２０２０年前将三氟化氮、六氟化钨等4种气体产能及市场占有率实现世界第一。